展商名称：安徽宏实自动化装备有限公司 
展位号：2A070

 
安徽宏实自动化装备有限公司（简称宏实自动化）是安徽宏实企业集团科工贸有限公司全资控股公司。宏实自动化成立于2014年1月，是一家集半导体制程设备、半导体自动化设备、工业自动化系统集成、智能工厂系统集成、物流仓储系统、资讯系统等研发、生产、销售和服务的国家级高新技术企业，拥有自主知识产权139项，在申请中专利150余项。

 

晶圆清洗机（Wafer Cleaner）

用途：晶圆清洗，去除晶圆制造过程中，产生的一些异物，如微粒子、有机物质、金属等。
产品特色：我们利用宏实的水刀和风刀技术，开发出非接触物理辅助，水平输送式化学清洗，可实现连续投料高产能之晶圆清洗机。传统的单片式清洗机几分钟才能清洗一片，我们水平式晶圆清洗机1分钟可以清洗3-5片。

典型应用产品
1.晶圆清洗机：晶圆热处理后，表面灰份的清洗。晶圆清洗机有一道刷磨工序，可有效去除热处理的灰份。
2.去毛边机：QFN踩切成型后，引脚毛边的去除。
3.化锡机：QFN引脚踩切位置裸露铜的补锡。
4.钛铜蚀刻：导电层钛和铜的蚀刻。
5.显影机：薄膜覆晶封装显影。
6.蚀刻机：薄膜覆晶封装蚀刻。
7.薄膜机：薄膜覆晶封装剥膜

产品分类： IC制造、封装及测试
产品应用领域：元器件