展商名称：中电科电子装备集团有限公司
展位号：5B173
 
中电科电子装备集团有限公司成立于2013 年，是以中国电子科技集团公司2所、45所和48所为主整合相关资源而成，是国内专业从事电子制造装备和光伏新能源科研、开发、制造、服务于一体的现代高科技企业集团。多年来，利用自身雄厚的科研技术和人才优势，形成了以光刻机、平坦化装备（CMP）、离子注入机、电化学沉积设备（ECD）等为代表的微电子工艺设备研究开发与生产制造体系，涵盖材料加工、芯片制造、先进封装和测试检测等多个领域。

展品：1.CMP、 2.离子注入机