展商名称：睿励科学仪器（上海）有限公司
展位号：5A173
     
睿励科学仪器（上海）有限公司研发、生产和销售具有自主知识产权的用于集成电路生产工艺的薄膜和OCD测量设备，宏观缺陷检测设备，以及集成电路生产用附属设备和零部件。

典型应用产品
1、集成电路生产制造工艺的薄膜测量：TFX3000系列300mm全自动光学膜厚测量系统
2、集成电路生产制造工艺的关键尺寸（OCD）和形貌测量：TFX3000 OCD--300mm全自动光学关键尺寸和形貌测量系统
3、聚焦粒子束(FIB)设备的关键部件：镓液态离子源
4、宏观缺陷检测设备：
（1）LED 图形化衬底（PSS）缺陷检测设备：FSD100e/100c/100i
（2）集成电路生产制造工艺用宏观缺陷检测设备（200mm/300mm）：FSD200µ/FSD300自动宏观缺陷检测系统

产品分类：IC支撑（设备及材料）
产品应用领域：测试测量设备