展商名称：盛美半导体设备（上海）有限公司
展位号：5A155

     
盛美半导体设备（上海）有限公司(ACM)于1998年在美国硅谷成立。2006年9月与上海市政府合资落户上海张江高科技园区。公司集研发、设计、制造、市场、销售和服务于一体。主要产品：兆声波单片清洗设备，TEBO，背面清洗设备，无应力抛铜设备，TSV深孔清洗设备，干法刻蚀设备，涂胶机，显影机，去胶机，腐蚀机，薄片清洗机等。

典型应用产品：12”65nm single wafer cleaning tool
产品分类：IC制造
产品应用领域：晶圆厂