展商名称：中微半导体设备（上海）有限公司
展位号：5A103
展出产品：介电质刻蚀设备(RIE 刻蚀设备)、深硅刻蚀设备（TSV刻蚀设备）、金属有机化合物气相沉积设备（MOCVD设备）


中微半导体设备（上海）有限公司是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司。通过向全球领先的半导体和LED芯片制造商提供极具竞争力的高端设备、及时和高质量的服务，中微为客户的技术水平提升、生产效率提高、生产成本降低和竞争力增强做出了重要贡献。中微的等离子刻蚀设备和硅通孔刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户从45纳米到7纳米工艺的芯片加工制造及先进封装，公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备也已在客户生产线上投入大规模量产。中微的客户遍布中国大陆、台湾、新加坡、韩国、日本、德国、意大利、俄罗斯等国家和地区。

典型应用产品
中微公司目前主要产品有三大类，用于纳米级芯片生产的介电质刻蚀设备(RIE 刻蚀设备)，用于MEMS、先进封装等多领域的深硅刻蚀设备（TSV刻蚀设备），和用于半导体照明芯片生产的金属有机化合物气相沉积设备（MOCVD设备）。

产品分类：IC制造；封装及测试；01、02专项；传感器及MEMS
产品应用领域：电子制造设备